2千平方メートルのクリーンルームを備えた研究施設が建設される敷地＝愛知県豊橋市の豊橋技術科学大
国立豊橋技術科学大（愛知県豊橋市）が、半導体の研究施設を新設することが分かった。今月にも着工し、来年3月に完成する。全国の大学で唯一、半導体の一貫製造が可能な施設を保有しており、約20億円の整備費を投じ、約4倍に拡張する。国は同大での整備を通じ、人材育成や先進技術開発の促進を図る。
施設は「次世代半導体・センサ科学研究所」で、半導体の製造に不可欠な約700平方メートルのクリーンルームを備える。新たに施設南側の敷地に2千平方メートルのクリーンルームを構える平屋の施設を建設する。
半導体の製造過程には集積回路の設計から、円盤状の基板に精密な回路パターンを焼き付ける露光、不純物を取り除く洗浄などさ...
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